Mai i te tirohanga ngaio, he tino uaua te hanga o te maramara me te hoha. Heoi, mai i te mekameka ahumahi oti o IC, kua wehea te nuinga ki nga wahanga e wha: hoahoa IC → hangahanga IC → kete → whakamatautau.
Te tukanga whakaputa maramara:
1. Te hoahoa maramara
He hua iti te maramara engari he tino tika. Ki te hanga maramara, ko te hoahoa te waahanga tuatahi. Ko te hoahoa e hiahia ana ki te awhina o te hoahoa maramara o te hoahoa maramara e hiahiatia ana mo te tukatuka me te awhina o te taputapu EDA me etahi waahanga IP.
Te tukanga whakaputa maramara:
1. Te hoahoa maramara
He hua iti te maramara engari he tino tika. Ki te hanga maramara, ko te hoahoa te waahanga tuatahi. Ko te hoahoa e hiahia ana ki te awhina o te hoahoa maramara o te hoahoa maramara e hiahiatia ana mo te tukatuka me te awhina o te taputapu EDA me etahi waahanga IP.
3. Silicon - hiki
I muri i te wehenga o te silicon, ka whakarerea nga mea e toe ana. Ko te silicon parakore i muri i nga waahanga maha kua eke ki te kounga o te hangahanga semiconductor. Koinei te mea e kiia nei ko te hiko hiko.
4. Silicon -maka ingots
I muri i te purenga, me maka te kirikiri ki roto i nga ingots silicon. Ko te karaihe kotahi o te hiko hiko -grade silicon i muri i te maka ki roto i te ingot e pa ana ki te 100 kg, a ka tae te ma o te silicon ki te 99.9999%.
5. Tukatuka kōnae
I muri i te makanga o te ingot silicon, me tapatapahia te katoa o te ingot silicon, koinei te angiangi e kiia nei ko te wafer, he tino kikokore. Whai muri, ka whakakoi te angiangi kia tino tika, ka maeneene te mata ano he whakaata.
Ko te diameter o nga angiangi silicon he 8-inihi (200mm) me te 12-inihi (300mm) te whanui. Ko te nui o te diameter, ka iti ake te utu o te maramara kotahi, engari ko te teitei ake o te uaua o te tukatuka.
5. Tukatuka kōnae
I muri i te makanga o te ingot silicon, me tapatapahia te katoa o te ingot silicon, koinei te angiangi e kiia nei ko te wafer, he tino kikokore. Whai muri, ka whakakoi te angiangi kia tino tika, ka maeneene te mata ano he whakaata.
Ko te diameter o nga angiangi silicon he 8-inihi (200mm) me te 12-inihi (300mm) te whanui. Ko te nui o te diameter, ka iti ake te utu o te maramara kotahi, engari ko te teitei ake o te uaua o te tukatuka.
7. Eclipse me te wero katote
Tuatahi, he mea tika ki te whakakore i te waikura silicon me te nitride silicon e kitea ana i waho o te photoresist, me te whakaheke i te paparanga o te silicon ki te whakamaarama i waenga i te ngongo karaihe, ka whakamahi i te hangarau whakairo hei whakaatu i te kirikiri o raro. Na ka werohia te boron, te ūkuikui ranei ki roto i te hanganga silicon, ka whakakiia te parahi ki te hono atu ki etahi atu transistors, katahi ka pania he paparanga kapia ki runga hei hanga paparanga. Ko te tikanga, he maha nga paparanga kei roto i te maramara, penei i nga huarahi nui kua tuituia.
7. Eclipse me te wero katote
Tuatahi, he mea tika ki te whakakore i te waikura silicon me te nitride silicon e kitea ana i waho o te photoresist, me te whakaheke i te paparanga o te silicon ki te whakamaarama i waenga i te ngongo karaihe, ka whakamahi i te hangarau whakairo hei whakaatu i te kirikiri o raro. Na ka werohia te boron, te ūkuikui ranei ki roto i te hanganga silicon, ka whakakiia te parahi ki te hono atu ki etahi atu transistors, katahi ka pania he paparanga kapia ki runga hei hanga paparanga. Ko te tikanga, he maha nga paparanga kei roto i te maramara, penei i nga huarahi nui kua tuituia.
Wā tuku: Hūrae-08-2023
